材料本身所具有的功能，必须经过正确的热处理手法来到达。只要杰出的热处理手法，才干实现咱们预想的功能希望。根据塑封模具资料功能要求，塑封模热处理手法主要是高温淬火、深冷处理、高温回火，并多次重复，经过这些不同的处理，到达最佳的模具功能。

　　1、高温淬火

　　为了进步资料的刚性和耐磨损性，一般资料均需加热到1030℃以上。高温下，各种合金元素充沛溶解于奥氏体内，以便在淬火时获得高的基体硬度，一起为了确保零件不发生脱碳氧化，相应选用了真空处理。现在半导体行业界运用的高速率气淬淬火炉，能够在高真空条件下经过氮气维护对工件进行加热，既确保了工件的脱碳氧化，又避免了合金元素的蒸腾。一起选用200-500Kpa范围内可调节气体压力，对工件进行淬火冷却，在确保工件充沛淬透的一起又减少了变形。

　　2、深冷处理与高温回火

　　高合金钢在淬火后，因为其马氏体改变点（Ms点）均高于室温，为了进步硬度，确保尺寸稳定性，一般要进行深冷处理和高温回火，以确保剩余奥氏体充沛改变为稳定的回火马氏体。咱们将经过真空淬火后的工件，在室温至100℃之间进行校对，然后放入-140℃的深冷处理箱中进行深冷。工件在不出炉的情况下，能够在-140℃至230℃之间进行冷热循环，确保工件不会因为进出炉而产生变形或开裂。一起因为选用氮气维护也避免了工件在回火中的氧化开裂。现在关于D2类资料，咱们一般在深冷设备中直接完成-140℃深冷至230℃回火的3次循环。关于高于230℃回火的钢种如SAM97、ELmax、ASP23等，咱们选用了真空回火炉，在抽真空后，加入99.999%的高纯氮气作为介质，经过吹风方向的改变来构成对流，确保了工件的温度均匀性，一起节省了回火时刻。

　　3、其它辅佐手法

　　在进步了淬火回火及深冷处理质量的一起，咱们一起对工件的其它环节给予了充沛的注重，过去认为的热处理工件洁净度与处理无关的观念现已被抛弃，添加洁净预处理。行将未入炉零件，经过真空清洗机进行真空去油、脱脂、干燥。去除了工件的各类加工油污和碎屑，确保了入炉工件不会带入其它杂质，避免了在高温加热时杂质分化，污染炉内环境和工件本身，从微观上确保了工件的组织洁净度和处理质量的完美性，进步了工件的运用寿命。

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